液晶產(chǎn)業(yè)潔凈工廠FFU凈化單元更換
液晶產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要控制對象為微粒和浮塵,同時還對潔凈室環(huán)境的溫度、濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
玻璃基板表面蒸鍍有一層 In2O3 或 SnO2 透明導電層,即 ITO 膜層,經(jīng)光刻加工制成透明導電圖形。若是有積塵,將會很明顯,甚至致使器件報廢。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【zhiFederal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級,分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。需要達到10級,10級無塵車間的標準是每立方英尺室內(nèi)的空氣所含有大于或等于0.1μm的灰塵粒子不超過350顆,大于或等于0.3μm的灰塵粒子不超過30顆,大于或等于0.5μm的灰塵粒子不超過10顆。
要讓液晶產(chǎn)業(yè)工廠達到10級無塵車間的標準,就需要用到凈化設備了,比較常見的是FFU凈化設備了,FFU是Fan Filter Units的簡稱,意思是風機過濾單元,是一種自帶動力,具有過濾功能的末端送風裝置;風機從頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA高效空氣過濾器過濾,過濾后將潔凈空氣從出風面均勻送出,為潔凈環(huán)境提供潔凈空氣和微粒過濾控制。
一般液晶無塵車間的換風量為30次/小時左右,如果FFU凈化單元出了故障,那么新進來的空氣的含塵量就會偏高,最終會導致液晶無塵車間的含塵量偏高,影響到液晶生產(chǎn)的正常運行。
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