YASKAWA安川雙臂真空晶圓傳送機械手

YASKAWA安川雙臂真空晶圓傳送機械手

安川真空晶圓搬運機械手特點:

1、適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運；

2、牙叉材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)；

3、配備動作監(jiān)視器；

4、S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓；

5、手臂關節(jié)處使用磁流體密封裝置；

6、真空密封：磁流體密封裝置和波紋管；

7、手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器。